使用离子风枪、离子头、离子棒等设施，使在一定范围内防止静电产生。
半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中，这种防静电盛放器有良好导电性能，能有效防止静电的产生。当然，有条件的应盛放在金属盛放器内或用金属箔包装。
对于操作人员应在手腕上带防静电手带，这种手带应有良好的接地性能，这种措施最为有效。
虽然静电效应是电学中最早用实验证明出来的，但在现代工业制程中静电却还被视为“无名火”。一般业界对静电危害防制技术可谓相当陌生，常常发生许多误解或误用防制方法而不自知，以致未能防范静电危害事故的发生。
一般而言，火花放电可引燃易燃性气体、蒸气和尘云。
电荷在绝缘物体表面的移动速率甚慢，然而静电放电的持续时间却极短，因此绝缘物体蓄积的电荷，不易于单次的静电放电中全部释放出来，而可能在绝缘物体表面之邻近区域发生多次静电放电。由于电荷和周围环境几何形状之不同，放电型式可分为：电晕放电、刷状放电，以及射状放电三种。
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